Edwards真空分子泵維修需要注意什么呢？求解答

真空度很好的情況下，Edwards進(jìn)口分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道？ 原因：油池裂開(kāi)或密封不良 解決方法：檢查油池 全文

高真空分子泵啟動(dòng)困難的維修方法需要結(jié)合系統(tǒng)排查與針對(duì)性處理，以下是常見(jiàn)原因及解決方法： 一、常見(jiàn)原因分析1. 電源與驅(qū)動(dòng)故障：供電電壓不穩(wěn)定、控制器參數(shù)錯(cuò)誤或驅(qū)動(dòng)器元件老化可能導(dǎo)致啟動(dòng)電流不足。2. .. 全文

正常使用下，為什么愛(ài)德華分子泵油池會(huì)出現(xiàn)裂紋或者變形 原因：過(guò)熱，負(fù)載大 解決措施：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng) 全文

Edwards真空分子泵維修低振動(dòng)：磁懸浮意味著無(wú)摩擦，因此振動(dòng)很低，此外這種特性能夠保持不變，并且不會(huì)隨零件磨損而化。 全文