大神賜教！如何維修Edwards二手分子泵？

當(dāng)愛德華分子泵控制器M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時(shí)，請(qǐng)檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。 全文

Edwards真空分子泵維修低振動(dòng)：磁懸浮意味著無摩擦，因此振動(dòng)很低，此外這種特性能夠保持不變，并且不會(huì)隨零件磨損而化。 全文

愛發(fā)科真空泵運(yùn)行時(shí)候聲音異常，噪音大的情況，有可能是泵運(yùn)行時(shí)候抽了不干凈的氣體或者液體導(dǎo)致泵排不干凈，或者是愛發(fā)科真空泵葉片油磨損，導(dǎo)致聲音異響或者是噪音很大，當(dāng)這個(gè)情況發(fā)生，真空泵的溫度也會(huì)跟著上升.. 全文

當(dāng)愛德華分子泵控制器出現(xiàn)故障無法使用時(shí)，應(yīng)暫停生產(chǎn)，并在手動(dòng)充滿空氣后更換備用分子泵。 全文