Edwards真空分子泵要怎么維修？ 幫忙解答一下

shimadzu真空泵的真空度下降：真空系統(tǒng)或進(jìn)氣管路讀書或泄露，真空泵油被污染或變質(zhì)，排氣過(guò)濾器堵塞，進(jìn)氣過(guò)濾器或進(jìn)氣濾網(wǎng)堵塞 全文

Leybold分子泵擁有非常強(qiáng)的排除水蒸氣的能力；可以在進(jìn)口壓力為大氣壓的情況下連續(xù)工作。 全文

Edwards進(jìn)口分子泵每次停機(jī)后，必須清洗每個(gè)分子泵的入口，以保持其清潔，以避免不必要的損壞。 全文

愛(ài)德華分子泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復(fù)到正常，反反復(fù)復(fù)，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請(qǐng)問(wèn)該現(xiàn)象如何解釋？ 原因：負(fù)載太大，系統(tǒng)真空度不夠 解決方法.. 全文