問(wèn)一下：維修Edwards真空分子泵維修要注意什么？

當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí)，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開Edwards真空分子泵維修之前，請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。 全文

Edwards進(jìn)口分子泵有防護(hù)網(wǎng)保護(hù)，為什么還會(huì)有大塊碎玻璃掉入泵內(nèi)？ 原因：防護(hù)網(wǎng)裂開，前級(jí)管道裂開 解決方法：優(yōu)化系統(tǒng)設(shè)計(jì) 全文

磁懸浮分子泵升級(jí)改造：邁向、可靠真空新紀(jì)元在半導(dǎo)體制造、精密鍍膜、科研等對(duì)真空環(huán)境要求嚴(yán)苛的領(lǐng)域，傳統(tǒng)分子泵的機(jī)械磨損、振動(dòng)噪聲和維護(hù)成本正日益成為制約發(fā)展的瓶頸。磁懸浮分子泵的升級(jí)改造，正是針對(duì)這.. 全文

德國(guó)Leybold分子泵低噪音，低振動(dòng)。結(jié)構(gòu)緊湊，體型小，節(jié)省空間。在低壓強(qiáng)下仍能保持高的抽速。 全文