Edwards真空分子泵的維修注意事項(xiàng)是？教期待大神解答

真空度很好的情況下，愛德華分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道？ 原因：油池裂開或密封不良 解決方法：檢查油池 全文

磁懸浮分子泵（MaglevTurboMolecularPump,MaglevTMP）作為真空技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備，憑借其無(wú)接觸磨損、超高轉(zhuǎn)速、低振動(dòng)、長(zhǎng)壽命、免維護(hù)（無(wú)油）等顯著優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、.. 全文

泵內(nèi)存在鐵屑、銅屑或其他顆粒雜物，會(huì)影響泵的正常工作，甚至導(dǎo)致泵的故障。此時(shí)應(yīng)將泵內(nèi)所有部件清洗干凈并更換新油；對(duì)于已進(jìn)入泵內(nèi)的雜物，則需拆卸泵體并清洗。 全文

正常使用下，為什么分子泵油池會(huì)出現(xiàn)裂紋或者變形原因：過(guò)熱，負(fù)載大解決措施：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng) 全文