哪位知道Edwards真空分子泵維修的維修注意事項有哪些？
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  • 當Edwards真空分子泵維修M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時，請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • 當出現(xiàn)警告信息“ EF”時，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards真空分子泵維修之前，請確保水路暢通。 當出現(xiàn)其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
  • Edwards真空分子泵維修故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置，此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常，可能是分子泵電源故障。請聯(lián)系制造商。
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