維修Edwards二手分子泵要注意哪些細(xì)節(jié)？ 有懂行的嗎？
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  • 打開(kāi)Edwards二手分子泵之前，必須先打開(kāi)冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后，必須關(guān)閉冷卻水閥。
  • 當(dāng)Edwards二手分子泵出現(xiàn)故障無(wú)法使用時(shí)，應(yīng)暫停生產(chǎn)，并在手動(dòng)充滿空氣后更換備用分子泵。
  • Edwards二手分子泵不能在大氣中打開(kāi)，必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開(kāi)。 打開(kāi)相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵
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