幫個忙，Edwards真空分子泵維修需要注意什么呢？
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  • 打開Edwards真空分子泵之前，必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后，必須關(guān)閉冷卻水閥。
  • 當(dāng)Edwards真空分子泵未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時，必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。
  • Edwards真空分子泵不能在大氣中打開，必須在達(dá)到10Pa時打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動分子泵
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