潽拓光電：分子泵抽速曲線

分子泵的抽速曲線是描述其在不同真空度下的排氣速率變化的重要工具。該曲線的橫坐標代表真空系統的壓強或真空度，縱坐標則代表分子泵在該壓強下的排氣速度（即單位時間內排出的氣體體積）。當系統內的壓力較大時，隨著壓力的逐漸降低，分子泵的實際抽速會逐漸增加；但當系統內的壓力降至某一臨界值時，繼續(xù)減小系統內部壓力和進一步提高分子的平均自由程將不會使有效碰撞次數增多，反而會使參加動量交換的氣體分子量減少，導致每轉一圈所傳遞的總動量變小、氣體的宏觀流動變慢和壓縮比下降等效應出現——此時若再進一步減壓，就需增大葉片傾斜角度來提高對低速運動的氣體的捕獲能力并補償因密度梯度造成的損失—但這也勢必會引起擴散流阻的增加而使極限流量有所減?。阂虼嗽谶@一階段中隨著內部空間殘余氣壓的不斷降低以及外部大氣與抽空容器之間壓差越來越大等因素作用下會使得整個抽取過程中所需消耗功率急劇上升而效率卻大幅度下滑直至終趨于停滯狀態(tài) —— 此時所對應的點即為峰值點后區(qū)域也即所謂的“飽和區(qū)”。曲線左端對應的是分子泵的極限真空值及其趨近于零時的理論流速條件限制所在位置 。整條抽速特性表征了從起始高背壓下快速響應至接近本底水平期間持續(xù)運作的能力范疇及潛在瓶頸制約因素分布概況 。