潽拓光電：渦輪分子泵保養(yǎng)

渦輪分子泵作為高真空系統(tǒng)的動(dòng)力，其穩(wěn)定運(yùn)行直接關(guān)乎實(shí)驗(yàn)精度與設(shè)備壽命?？茖W(xué)保養(yǎng)是關(guān)鍵，主要涵蓋以下層面：

一、日常操作規(guī)范(基礎(chǔ)防線)

*潔凈啟停：啟動(dòng)前確保腔體清潔干燥，避免顆粒物或腐蝕性氣體進(jìn)入；停機(jī)時(shí)遵循“先關(guān)高真空閥，后停泵”原則，防止泵油倒吸污染。

*平穩(wěn)運(yùn)行：運(yùn)行中監(jiān)控振動(dòng)與噪音，異常波動(dòng)往往是軸承磨損或動(dòng)平衡失效的信號(hào)，需立即排查。

*冷卻保障：確保水冷系統(tǒng)暢通，水溫流量達(dá)標(biāo)（參照手冊(cè)），過熱會(huì)加速潤滑油老化及部件變形。

二、周期性維護(hù)(主動(dòng)防御)

*油霧過濾器：每3-6個(gè)月檢查/更換，失效會(huì)導(dǎo)致油蒸氣反流污染腔體，影響真空度。

*潤滑油監(jiān)測：每運(yùn)行2000-4000小時(shí)或按廠家建議更換潤滑油。舊油氧化會(huì)產(chǎn)生酸性物質(zhì)腐蝕軸承。換油時(shí)排空舊油并清洗油箱。

*軸承狀態(tài)：運(yùn)行聲音，異常高頻噪音或振動(dòng)加劇提示軸承磨損（尤其磁懸浮軸承需檢測）。定期檢查軸承溫度。

*密封與連接：檢查O型圈、法蘭密封面是否老化龜裂，真空脂是否均勻無雜質(zhì)，及時(shí)更換失效密封件。

三、深度保養(yǎng)與服務(wù)

*內(nèi)部清潔：每1-2年或污染嚴(yán)重時(shí)，由人員拆卸清洗泵體內(nèi)部，清除沉積物（尤其渦輪葉片間），恢復(fù)抽速。

*軸承更換：機(jī)械軸承壽命通常1-3萬小時(shí)，到期或異常時(shí)需由原廠或授權(quán)機(jī)構(gòu)更換，確保動(dòng)平衡精度。

*電路檢測：定期檢查電源、控制器接線及散熱，避免電氣故障導(dǎo)致停轉(zhuǎn)。

安全提示：

*維護(hù)前務(wù)必?cái)嚯?，待泵體完全冷卻！

*高速轉(zhuǎn)子具有慣性，勿強(qiáng)行制動(dòng)！

*嚴(yán)格使用廠家耗材（油品、密封件）。

存放要點(diǎn)：長期停用需排空潤滑油，充入干燥氮?dú)饷芊膺M(jìn)出口，存放于干燥無塵環(huán)境。

遵循手冊(cè)，定期維保，您的渦輪分子泵將持久提供純凈、穩(wěn)定的高真空環(huán)境，為科研與生產(chǎn)保駕護(hù)航。