潽拓光電：分子泵負(fù)載太大

分子泵負(fù)載過大（過載）是一個(gè)嚴(yán)重問題，會(huì)導(dǎo)致泵體過熱、異常噪音、振動(dòng)加劇，終可能損壞昂貴的分子泵轉(zhuǎn)子軸承或電機(jī)。

分子泵負(fù)載過大是系統(tǒng)發(fā)出的危險(xiǎn)信號(hào)。前級(jí)真空不足和軸承潤(rùn)滑失效是常見誘因。必須立即停機(jī)，遵循從系統(tǒng)（前級(jí)真空、泄漏、工藝氣體）到泵本體（潤(rùn)滑、冷卻、機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)）再到電氣控制（驅(qū)動(dòng)器、電機(jī)）的排查順序，由簡(jiǎn)入繁。忽視此問題將導(dǎo)致分子泵部件（轉(zhuǎn)子、軸承）的災(zāi)難性損壞，造成高昂的維修費(fèi)用和停機(jī)損失。安全操作和及時(shí)維護(hù)是預(yù)防的關(guān)鍵。