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早期電鏡中曾采用過機械式消像散器，利用手動機械裝置來調整電磁透鏡周圍的小磁鐵 組成的消像散器，來改變透鏡磁場分布的缺陷。但由于調整的性和使用的方便性均難令人滿意，這種方式已被淘汰。消像散器由圍繞光軸對稱環(huán)狀均勻分布的8個小電磁線圈構成，用以消除（或減小）電磁透鏡因材料、加工、污染等因素造成的像散。其中每4個互相垂直的線圈為1組，在任一直徑方向上的2個線圈產(chǎn)生的磁場方向相反，用2組控制電路來分別調節(jié)這2組線圈中的直流電流的大小和方向，即能產(chǎn)生1個強度和方向可變的合成磁場，以補償透鏡中所原有的不均勻磁場缺陷（圖中橢圓形實線），以達到消除或降低軸上像散的效果。

觀察試樣的各個區(qū)域的細節(jié)。試樣在樣品室中可動的范圍非常大。其他方式顯微鏡的工作距離通常只有2～3cm，故實際上只許可試樣在兩度空間內運動。但在掃描電子顯微鏡中則不同，由于工作距離大（可大于20 mm），焦深大（比透射電子顯微鏡大10倍），樣品室的空間也大，因此，可以讓試樣在三度空間內有6個自由度運動（即三度空間平移，三度空間旋轉），且可動范圍大，這對觀察不規(guī)則形狀試樣的各個區(qū)域細節(jié)帶來極大的方便。

電子束的掃描是根據(jù)放大倍數(shù)和采集像素大小而進行了馬賽克的像素化，只要束斑縮小到和單點像素匹配就可以，束斑與束斑之間不會出現(xiàn)太多的重疊而導致分辨率下降。只有束斑與單點像素匹配后，再縮小束斑已經(jīng)沒有意義，不會帶來分辨率的提升，鈣離子定位電鏡技術服務，相反會引起信息的缺失。由此我們可以得到新的結論，雖然束斑越小理論分辨率越高，但是對于實際拍攝來說，像素和束斑越匹配才是效果越好。

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