檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度,正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時,在漏點處噴射氦氣5~10s后,檢漏儀就發(fā)生響應,對于如此龐大的真空系統(tǒng),其反應是相當?shù)撵`敏。用于電廠檢漏的氦質(zhì)譜檢漏儀。關(guān)鍵部件均為進口,性能。不僅靈敏度高,而且操作方便,汽車行業(yè)檢漏廠,能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進入磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。
外漏主要是滲漏,主要部位為板片和板片之間的密封處、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片與壓緊板內(nèi)側(cè)密封處。串液主要為壓力高的一側(cè)的介質(zhì)串入壓力較低- -側(cè)的介質(zhì)中,系統(tǒng)會出現(xiàn)壓力和溫度的異常。如果介質(zhì)具有腐蝕性,還可能導致回路中其他設備的腐蝕。串液通常發(fā)生在導流區(qū)域或者二道密封區(qū)域。為了避免外漏的發(fā)生,需要對板片和板片的密封處、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片與壓緊板內(nèi)側(cè)密封處進行氦質(zhì)譜檢漏。
真空檢漏的具體方法為了方便說明真空檢漏方法,我們以真空爐為例進行真空檢漏。真空爐主要由機械泵、羅茨泵、擴散泵、前級管路、爐體等幾部分組成。真空爐的生產(chǎn)中為常見問題是極限壓力合格,而升壓率不合格,或者是兩者都不合格,比較少見的是升壓率合格但極限壓力不合格。(1)極限壓力合格,升壓率不合格極限壓力合格說明設備沒有明顯漏點,且真空系統(tǒng)的抽氣性能正常。升壓率不合格,主要原因是從粗抽閥到爐體有-些較小的漏點,通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之間。
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