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微光顯微鏡emmi檢測和emmi分析解說
通常第三方檢測實(shí)驗(yàn)室用戶對emmi檢測需要了解哪些內(nèi)容呢？首先在分析故障的時候利用微光顯微鏡，它的主要特點(diǎn)是效率非常高，主要偵測IC內(nèi)部所發(fā)射出來的光子，等離子開封機(jī)價格，在檢測芯片的時候由于電子很容易擴(kuò)散到的位置。所以做emmi檢測通常是非常有必要的。它的主要優(yōu)勢就是通過產(chǎn)生亮點(diǎn)的缺陷，能夠接處毛刺從而有效的進(jìn)行分析，可以檢測不到亮點(diǎn)的情況，然后進(jìn)行排除。同時利用光誘導(dǎo)的電阻變化能夠準(zhǔn)確的，等離子開封機(jī)廠家，對于IC元件的短路，或者是互聯(lián)當(dāng)中所出現(xiàn)的空洞來進(jìn)行檢測，這樣才會更加的。
偵測到亮點(diǎn)之情況；
會產(chǎn)生亮點(diǎn)的缺陷：1.漏電結(jié)；2.解除毛刺；3.熱電子效應(yīng)；4閂鎖效應(yīng)； 5氧化層漏電；6多晶硅須；7襯底損失；8.物理損傷等。 偵測不到亮點(diǎn)之情況 不會出現(xiàn)亮點(diǎn)之故障：1.亮點(diǎn)位置被擋到或遮蔽的情形（埋入式的接面及 大面積金屬線底下的漏電位置）；2.歐姆接觸；3.金屬互聯(lián)短路；4.表面 反型層；5.硅導(dǎo)電通路等。
點(diǎn)被遮蔽之情況：埋入式的接面及大面積金屬線底下的漏電位置，這種情 況可采用Backside模式，但是只能探測近紅外波段的發(fā)光，且需要減薄及 拋光處理。
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第5年
