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科銳諾生物科技-掃描電鏡測試服務(wù)

詢盤留言 |投訴|申領(lǐng)|刪除 產(chǎn)品編號：601833622                    更新時間：2025-09-05
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掃描電子顯微鏡電子發(fā)射出的電子束經(jīng)過聚焦后匯聚成點光源；點光源在加速電壓下形成高能電子束；高能電子束經(jīng)由兩個電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點，在透過后一級帶有掃描線圈的電磁透鏡后，電子束以光柵狀掃描的方式逐點轟擊到樣品表面，同時激發(fā)出不同深度的電子信號。此時，電子信號會被樣品上方不同信號的探頭接收，通過放大器同步傳送到電腦顯示屏，形成實時成像記錄（圖a）。由入射電子轟擊樣品表面激發(fā)出來的電子信號有：俄歇電子（Au E）、二次電子（SE）、背散射電子（BSE）、X射線（特征X射線、連續(xù)X射線）、陰極熒光（CL）、吸收電子（AE）和透射電子（圖b）。每種電子信號的用途因作用深度而異。

觀察試樣的各個區(qū)域的細(xì)節(jié)。試樣在樣品室中可動的范圍非常大。其他方式顯微鏡的工作距離通常只有2～3cm，故實際上只許可試樣在兩度空間內(nèi)運動。但在掃描電子顯微鏡中則不同，由于工作距離大（可大于20 mm），焦深大（比透射電子顯微鏡大10倍），樣品室的空間也大，因此，可以讓試樣在三度空間內(nèi)有6個自由度運動（即三度空間平移，三度空間旋轉(zhuǎn)），且可動范圍大，這對觀察不規(guī)則形狀試樣的各個區(qū)域細(xì)節(jié)帶來極大的方便。

電子束的掃描是根據(jù)放大倍數(shù)和采集像素大小而進行了馬賽克的像素化，只要束斑縮小到和單點像素匹配就可以，束斑與束斑之間不會出現(xiàn)太多的重疊而導(dǎo)致分辨率下降。只有束斑與單點像素匹配后，再縮小束斑已經(jīng)沒有意義，不會帶來分辨率的提升，掃描電鏡測試服務(wù)，相反會引起信息的缺失。由此我們可以得到新的結(jié)論，雖然束斑越小理論分辨率越高，但是對于實際拍攝來說，像素和束斑越匹配才是效果越好。

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