和其他產業(yè)不同,集成電路產業(yè)鏈幾乎所有環(huán)節(jié)都需要在潔凈室內完成,從單晶硅片制造,到IC制造的幾乎所有環(huán)節(jié),到IC封裝都需要在潔凈室中完成,且對于潔凈度的要求非常高。如,14納米工藝中7納米的微粒就會影響制造過程。集成電路制造過程需要的潔凈程度越來越高,對于潔凈室工程的技術提出越來越高的要求。潔凈室工程是集成電路制造環(huán)節(jié)中重要的一環(huán),直接決定了終產品的成敗。









送風過濾設備:高效送風口選用不銹鋼結構,漂亮清潔,沖孔網板用烤漆鋁板,SMT凈化車間造價,不生銹不粘塵,易清潔;送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫棉;5、高效過濾器設備前,有必要對潔凈室進行悉數清掃、擦凈,凈化空調系統內部如有積塵,應再次清掃、擦凈,到達清潔需要。如在技術夾層或吊頂內設備高效過濾器,則技術層或吊頂內也應進行悉數清掃、擦凈。

方案特點:A.建議新風經過集中處理后再與回風混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負擔; B.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。光學微電子凈化工程一般包括:1、 潔凈生產區(qū);2、潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)3、管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)


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