





當(dāng)金屬溶解時,處在鈍化條件下,鈍化,在表面生成緊密的、覆蓋性良好的固態(tài)物質(zhì),鈍化工藝,這種物質(zhì)形成獨鈍化立的相,稱為鈍化膜或稱成相膜,此膜將金屬表面和溶液機械地隔離開,鈍化處理,使金屬的溶解速度大大降低,而呈鈍態(tài)。實驗證據(jù)是在某些鈍化的金屬表面上,可看到成相膜的存在,并能測其厚度和組成。

鈍化原理其鈍化的機理可用薄膜理論來解釋,即認為鈍化是由于金屬與氧化性物質(zhì)作用,作用時在金屬表面生成 一種非常薄的、致密的、覆蓋性能良好的、牢固地吸附在金屬表面上的鈍化膜。這層膜成獨立相存在,通常是氧化金屬的化合物。它起著把金屬與腐蝕介質(zhì)完全隔開的作用,防止金屬與腐蝕介質(zhì)接觸,從而使金屬基本停止溶解形成鈍態(tài)達到防腐蝕的作用。

在氧化層中大部分的電荷效應(yīng)是直接或間接地同熱氧化的工藝過程有關(guān)的。在800—1250~C的溫度范圍內(nèi),用干氧、濕氧或水汽進行的熱氧化過程有三個持續(xù)的階段,首先是環(huán)境氣氛中的氧進入到已生成的氧化層中,然后氧通過二氧化硅向內(nèi)部擴散,當(dāng)它到達Si02-Si界面時就同硅發(fā)生反應(yīng),形成新的二氧化硅。這樣不斷發(fā)生著氧的進入—擴散—反應(yīng)過程,使靠近界面的硅不斷轉(zhuǎn)化為二氧化硅,氧化層就以一定的速率向硅片內(nèi)部生長。
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