流量控制器的應(yīng)用中IST流量傳感器的作用

IST-AG通過特殊的薄膜工藝，將高精度加熱器，溫度傳感器或電堆封裝在單一芯片內(nèi)，構(gòu)成流量測(cè)量的主要傳感單元（Figure 2） ，通過流量傳感器以響應(yīng)絕大多數(shù)流量測(cè)量場(chǎng)景，薄膜技術(shù)的應(yīng)用使得IST AG流量傳感器具有很好的結(jié)構(gòu)與性能優(yōu)勢(shì)。為此IST流量傳感器在MFC中的應(yīng)用工采網(wǎng)推薦瑞士IST 質(zhì)量流量傳感器 - FS5.0.1L.195的升級(jí)版IST-AG FS7流量傳感器。

IST公司的FS5.0.1L.195是一個(gè)熱質(zhì)流量傳感器，用于各種氣流應(yīng)用.熱質(zhì)流量傳感器使用熱傳遞原則，確定流體的流率.隨著流體通過傳感器，熱質(zhì)由傳感器傳遞到媒體.此關(guān)序取決于流動(dòng)速率.隨著流動(dòng)增加，熱量被傳遞.通過了解媒體的溫度，即可通過為保持恒定溫度差的電壓補(bǔ)償量得出流速。

而IST-AG FS7流量傳感器寬廣的測(cè)量范圍允許將傳感器直接置于被測(cè)氣路當(dāng)中，免去復(fù)雜的旁路設(shè)計(jì)。傳感器具有陶瓷基底與鈍化玻璃層進(jìn)行保護(hù)，具有較佳的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

因此在終端應(yīng)用中，質(zhì)量流量控制器的可靠性多半是許多半導(dǎo)體工藝的基礎(chǔ)。MFC 的失準(zhǔn)或制造缺陷會(huì)導(dǎo)致晶圓產(chǎn)量下降，甚至?xí)p壞整個(gè)晶圓。采用IST流量傳感器則可以為MFC產(chǎn)品帶來如下優(yōu)勢(shì):

1、足夠?qū)挼臏y(cè)量范圍使得在許多場(chǎng)景中不必使用旁路，而進(jìn)行直接測(cè)量，提高測(cè)量的準(zhǔn)確性。

2、薄膜技術(shù)帶來極高的響應(yīng)靈敏度，在一般測(cè)量狀態(tài)就可以瞬間響應(yīng)壓力浪涌。

3、小巧的體積與簡(jiǎn)單的安裝方式，給氣路結(jié)構(gòu)優(yōu)化創(chuàng)造更大的空間。

流量控制器在內(nèi)燃發(fā)動(dòng)機(jī)中的使用

氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器是采用進(jìn)口生產(chǎn)工藝，在20℃，1個(gè)大氣壓條件下標(biāo)定的，主要是指氣體在1分鐘的體積流量單位。是氣體流量計(jì)量中新型儀表，不需要進(jìn)行壓力和溫度修正是區(qū)別于其它氣體流量計(jì)重要指標(biāo)，能直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，數(shù)字流量計(jì)，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測(cè)量和控制，在科研單位以及高校實(shí)驗(yàn)室中廣泛使用。

熱式氣體質(zhì)量流量控制器目前在各行的內(nèi)燃發(fā)動(dòng)機(jī)中廣泛使用，主要是用來控制和調(diào)節(jié)各種量程的能源氣體的燃燒。內(nèi)燃機(jī)是一種動(dòng)力機(jī)械，它是通過使燃料在機(jī)器內(nèi)部燃燒，并將其放出的熱能直接轉(zhuǎn)換為動(dòng)力的熱力發(fā)動(dòng)機(jī)。

內(nèi)燃機(jī)未來的發(fā)展將著重于改進(jìn)燃燒過程，提高機(jī)械效率，減少散熱損失，降低燃料消耗率；開發(fā)和利用非石油制品燃料、擴(kuò)大燃料資源；減少排氣中有害成分，降低噪聲和振動(dòng)，減輕對(duì)環(huán)境的污染；采用高增壓技術(shù)，進(jìn)一步強(qiáng)化內(nèi)燃機(jī)，提高單機(jī)功率；研制復(fù)合式發(fā)動(dòng)機(jī)、絕熱式渦輪復(fù)合式發(fā)動(dòng)機(jī)等；采用微處理機(jī)控制內(nèi)燃機(jī)，使之在較佳工況下運(yùn)轉(zhuǎn)；加強(qiáng)結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的研究，以提高工作可靠性和壽命，不斷創(chuàng)制新型內(nèi)燃機(jī)變氣門，變升程，變相位，甚至停掉幾個(gè)缸的技術(shù)，都沒能做到在行進(jìn)中連續(xù)變缸徑，小流量氣體流量計(jì)多少錢，但有等效的。

氣體質(zhì)量流量控制器在真空鍍膜機(jī)中的使用

真空鍍膜機(jī)中經(jīng)常使用到的熱式氣體質(zhì)量流量控制器主要是用來控制氣體的進(jìn)氣量，把氣體流量準(zhǔn)確的輸入到真空腔室內(nèi)。AC-S030C系列的氣體質(zhì)量流量控制器主要是用于控制微小流量的氣體，采用全新的制作工藝，是在20℃，1個(gè)大氣壓條件下標(biāo)定的，高壓氣體流量計(jì)多少錢，主要是指氣體在1分鐘的體積流量單位。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)

熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測(cè)量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí)，安徽流量計(jì)，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質(zhì)量流量成正比。

質(zhì)量流量控制器

蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點(diǎn)－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng)）形成薄膜。 對(duì)于濺射類鍍膜，可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來，并且沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程，形成薄膜。

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